Анализ тонких пленок. Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет системы видеоконтроля и измерения тонкопленочных покрытий с разделением по осям.

Системы видеоконтроля и измерения тонкопленочных покрытий cерии FSMA VideoMic с разделением по осям.

Серия FSMA VideoMic с разделением по осям обеспечивает быстрое бесконтактное измерение по трем осям координат с повышенной точностью. Такая возможность позволяет пользователю проверять критически важные размеры на опытных изделиях, промышленных образцах или в полном производственном цикле. Предельные значения с указанием допусков могут устанавливаться для обеспечения своевременных корректировок в процессе или, в случае необходимости, для прерывания процесса для минимизации отходов. Сбалансированные линейные двигатели точно, бесшумно и быстро позиционируют платформу. Оптика с сильным увеличением передает изображение на камеру с ПЗС-матрицей высокого разрешения, а оттуда на плату захвата изображения, где наш суб-пиксельный алгоритм позволяет производить субмикронные измерения. Увеличенный вид измеряемого объекта отображается на экране и может храниться со всеми нужными данными или распечатываться на цветном принтере. После измерения координаты объектов могут храниться, анализироваться и/или экспортироваться в другие программы для дальнейшего углубленного анализа.


ХАРАКТЕРИСТИКИ
• Усовершенствованная метрологическая программа обеспечивает высокую степень гибкости программирования.
• Расширенное видеоотслеживание кромок для избирательного измерения объектов.
• Система имеет универсальные инструменты видеоотслеживания кромок, такие как ширина линии, круг, центр массы и буферное устройство для ускорения измерительного процесса.
• Механизмы перемещения приводятся от сложных, не требующих обслуживания сбалансированных линейных двигателей, которые замкнуты на прецизионные шкалы по всем трем осям.
• Механизмы перемещения X (камера) и Y (продукт) работают независимо и полностью поддерживаются пневматическими подшипниками без трения.
• Ось Z с замкнутым контуром позволяет делать измерение по оси Z и авто-фокусировку, а также точную фокусировку с шаровым указателем.
• Для облегчения обучения используется среда Microsoft Windows, в которой доступна интерактивная справка.
• Высокоскоростной многозадачный процессор обеспечивает быстрое обнаружение объекта и высокоскоростное управление перемещением.
• Стандартные возможности работы в сети. Имеется возможность создания электронных файлов или распечатки данных по размерам, а также изображений.
• Система указывает положение и размер объекта, обеспечивая оптимизацию производственного процесса у пользователя.
• Имеется возможность установки допусков по декартовой системе координат, а также по истинному положению, LMC и MMC.
• Программы могут автоматически создаваться из данных CAD или путем записи шагов при ручном измерении части.
• Большой цветной ЖК монитор для представления измеряемых данных и видеоизображения.
• Регулируемая эргономичная рабочая станция, включающая компактную панель управления и стандартную клавиатуру, увеличивает эффективность работы оператора.
• Массивное гранитное основание, мостик и опорные «пути» для высокой стабильности машины.
• Цветная камера с высоким разрешением обеспечивает отличное видеоизображение.

СПЕЦИФИКАЦИИ

Модель	463VSA	713VSA	963VSA	1273VSA
Перемещение X-Y	460 мм x 305 мм (18 х 12 дюймов)	711 мм х 610 мм (28 х 24 дюймов)	965 мм х 760 мм (38 х 30 дюймов)	1270 мм х 915 мм (50 х 36 дюймов)
Ширина контура	1016 мм (40 дюймов)	1270 мм (50 дюймов)	1,75 м 69 дюймов)	2,16 м (85 дюймов)
Глубина контура	1016 мм (40 дюймов)	1626 мм (64 дюйма)	2,03 м (80 дюймов)	2,34 м (92 дюйма)
Общая высота	1727 мм (68 дюймов)	1727 мм (68 дюймов)	1,8 м (71 дюйм)	1,8 м (71 дюйм)
Нависающий край	До 635 мм (25 дюймов) для регулируемой станции управления спереди. 280 мм (11 дюймов) для дополнительного цветного принтера справа
Вес (прибл.)	680 кг (1500 фунтов)	907 кг (2000 фунтов)	3243 кг (7150 фунтов)	4082 кг (9000 фунтов)
Вес (с тарой)	907 кг (2000 фунтов)	1134 кг (2500 фунтов)	3629 кг (8000 фунтов)	4536 кг (10 000 фунтов)
Скорость платформы X-Y	До 760 мм (30 дюймов) в секунду
Точность платформы X-Y	U95 = (2,0 + L/200) мкм в условиях термостабильной системы при 20 °C со значением пиксела 2 мкм или менее
Платформа по оси Z	Перемещение — 200 мм (8 дюймов).Скорость — до 150 мм (6 дюймов) в секунду. Воспроизводимость ± 3 мкм (± 0,00012 дюйма)
Среда	Температурный диапазон 20 ± 0,5 ºC (67—69 ºF) Макс. скорость изменения 0,25 ºC (0,5 ºF)/Hr Относительная влажность 30—80 % без конденсата
Контроллер	Высокопроизводительный компьютер на базе Windows. Запрашивать последнюю конфигурацию у FSMA
Коммунальные услуги	115/230 В перем. тока, 50/60 Гц, одна фаза, 1,0 кВт, 85 л/мин (3 куб. фута/мин), сухой воздух при давлении 7—8,25 бар (100—120 фунтов/кв. дюйм)
Обучение	Три дня на месте инженером FSMA (предлагается отдельно)
Гарантия	Один год на запчасти и изделие.

ОПЦИИ
• Программируемые верхние светодиодные ламы Quadrangle™ для освещения объектов на поверхности.
• Программируемые нижние светодиодные лампы для освещения кромок и сквозных отверстий.
• Осветительный модуль Z-Trac обеспечивает независимый контроль угла падения и высоты для выделения краев.
• Контактный датчик Renishaw для измерения в трех осях.
• Автоматически убирающаяся полка с 4-позиционным датчиком.
• Автоматически убирающийся узел с датчиком по оси Z.
• Камера наблюдения с увеличенным цветным видом контактного датчика.
• Лазерный датчик по оси Z.
• Стеклянная прижимная пластина на шарнире удерживает плоские образцы различной толщины.
• 12-кратный программируемый объектив с трансфокатором обеспечивает заданное откалиброванное увеличение.
• Оптическое увеличение может устанавливаться от 25 до 2000 крат в соответствии с размерами объектов.
• Цветной принтер позволяет распечатывать архивные изображения и отчеты по результатам измерений.
• Утилиты преобразования файлов импортируют и экспортируют файлы CAD, графические файлы, файлы практической обработки и маршрутные файлы.
• Мощный пакет SPC на основе EXCEL. Дополнительную информацию по конфигурации и приложениям можно получить, обратившись в компанию АКТАН.