Анализ тонких пленок. Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет системы для картографирования поверхностного сопротивления слоя тонких пленок.

Система FSM 4pp-C2C для картографирования поверхностного сопротивления слоя
для получения характеристик процесса, управления процессом, квалификационного испытания инструмента и разработки новых пленок, используемых в полупроводниках, микроэлектромеханических системах и нанотехнологиях.  

FSM 4pp-C2C является пригодным для использования на производстве инструментом для измерения поверхностного сопротивления слоя, применяемым производителями пластин на металлах, средствах химико-механического выравнивания плоскостности и диффузионных модулях. Этот прибор оснащен датчиком, позволяющим стабильно и точно измерять сопротивление слоя для получения характеристик процесса, отслеживания изменений процесса при производстве и квалификационного испытания инструмента. Имея совершенную автоматику и возможность краевой коррекции, данная система обеспечивает высокоэффективное картографирование сопротивления слоя на пластинах диаметром 300 мм и 200 мм на расстоянии до 1 мм от края. В сочетании с гибким интерфейсом пользователя, данная система обеспечивает самые низкие расходы по эксплуатации.

СПЕЦИФИКАЦИЯ СИСТЕМЫ

Измерение при помощи 4-точечного датчика
Типы пленки: Ti, TiN, W, WN, Cu, Al, WSi, поли-Si, допированный Si, объемный Si и т. д.
Диапазон Rs: 1 микро-ом — 1 мега-ом
Точность: < 0,5 % по стандарту NIST
Воспроизводимость (стандартное отклонение, 1 сигма):
статическая < 0,2 %, 1 сигма (та же точка, 20 повторов,                              на стабильной пленке)
динамическая < 0,2 %, 1 сигма (та же точка, 7 загрузок/выгрузок )
Долговременная воспроизводимость: < 0,3 % 1 сигма за 7 дней
Скорость отбора проб < 2 секунды на пробу
Исключение края: 1 мм

Параметры аппаратной части
Регулируемый манометр с водяным столбом или датчик с наконечником Auzmiun
Стандартная конфигурация включает один датчик и робот с одним манипулятором
Автоматическое согласование датчика
Опция: конфигурация с несколькими датчиками
Опция: робот с двумя манипуляторами
Опция: бесконтактный датчик RsL для пластины с переходом
Опция: нагревательная платформа для термического коэффициента сопротивления (TCR)

Параметры анализа
Координата картографирования в зависимости от набора параметров
Контурная и цветовая карта Rs
Линейное и круговое сканирование
Квалификационное испытание датчика и процедура калибрования
Текстовые исходные данные и экспорт сведений в pdf
Полные статистические итоговые сведения

Возможности полной автоматизации изготовления 300 мм
Инструмент RsL доступен в полуавтоматическом (ручная подача пластин) и в автоматическом (с одинарным или двойным портом загрузки/выгрузки пластин стандарта FOUP) исполнении для пластин 200 и 300 мм. Также доступна автоматизация процесса измерения по стандарту.
Схема:
          Одинарный и двойной FOUP 200/300 мм: 1,16 м (длина) х 2,01 м (глубина)
          Ручная 200/300 мм: 0,35 м (ширина) x 0,75 м (глубина) x 0,5 м (высота)