АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru




Системы измерения напряжений в тонких плёнках
Встраиваемые системы оптического контроля
Кварцевые измерители толщины напыляемых пленок.
Держатели кварцевых кристаллов
Кварцевые кристаллы





АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ 

Все системы анализа тонких пленок


Анализ тонких пленок. Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет системы для картографирования поверхностного сопротивления слоя тонких пленок.

Система FSM 4pp-C2C для картографирования поверхностного сопротивления слоя
для получения характеристик процесса, управления процессом, квалификационного испытания инструмента и разработки новых пленок, используемых в полупроводниках, микроэлектромеханических системах и нанотехнологиях.  

Система FSM 4pp-C2C для картографирования поверхностного сопротивления слоя FSM 4pp-C2C является пригодным для использования на производстве инструментом для измерения поверхностного сопротивления слоя, применяемым производителями пластин на металлах, средствах химико-механического выравнивания плоскостности и диффузионных модулях. Этот прибор оснащен датчиком, позволяющим стабильно и точно измерять сопротивление слоя для получения характеристик процесса, отслеживания изменений процесса при производстве и квалификационного испытания инструмента. Имея совершенную автоматику и возможность краевой коррекции, данная система обеспечивает высокоэффективное картографирование сопротивления слоя на пластинах диаметром 300 мм и 200 мм на расстоянии до 1 мм от края. В сочетании с гибким интерфейсом пользователя, данная система обеспечивает самые низкие расходы по эксплуатации.

СПЕЦИФИКАЦИЯ СИСТЕМЫ

Измерение при помощи 4-точечного датчика
Типы пленки: Ti, TiN, W, WN, Cu, Al, WSi, поли-Si, допированный Si, объемный Si и т. д.
Диапазон Rs: 1 микро-ом — 1 мега-ом
Точность: < 0,5 % по стандарту NIST
Воспроизводимость (стандартное отклонение, 1 сигма):
статическая < 0,2 %, 1 сигма (та же точка, 20 повторов,                              на стабильной пленке)
динамическая < 0,2 %, 1 сигма (та же точка, 7 загрузок/выгрузок )
Долговременная воспроизводимость: < 0,3 % 1 сигма за 7 дней
Скорость отбора проб < 2 секунды на пробу
Исключение края: 1 мм

Параметры аппаратной части
Регулируемый манометр с водяным столбом или датчик с наконечником Auzmiun
Стандартная конфигурация включает один датчик и робот с одним манипулятором
Автоматическое согласование датчика
Опция: конфигурация с несколькими датчиками
Опция: робот с двумя манипуляторами
Опция: бесконтактный датчик RsL для пластины с переходом
Опция: нагревательная платформа для термического коэффициента сопротивления (TCR)

Параметры анализа
Координата картографирования в зависимости от набора параметров
Контурная и цветовая карта Rs
Линейное и круговое сканирование
Квалификационное испытание датчика и процедура калибрования
Текстовые исходные данные и экспорт сведений в pdf
Полные статистические итоговые сведения

Возможности полной автоматизации изготовления 300 мм
Инструмент RsL доступен в полуавтоматическом (ручная подача пластин) и в автоматическом (с одинарным или двойным портом загрузки/выгрузки пластин стандарта FOUP) исполнении для пластин 200 и 300 мм. Также доступна автоматизация процесса измерения по стандарту.
Схема:
          Одинарный и двойной FOUP 200/300 мм: 1,16 м (длина) х 2,01 м (глубина)
          Ручная 200/300 мм: 0,35 м (ширина) x 0,75 м (глубина) x 0,5 м (высота)  

Возможности полной автоматизации изготовления 300 мм



 


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08


Copyright © 2004-2018 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика