Анализ тонких пленок. Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет системы для картографирования толщины пластин.

Система FSM 413-200 для измерения толщины пластин

Бесконтактное измерение толщины сверхтонких пластин, изготовленных методом шлифования или химического травления. Измеряет структурированные пластины с контактными выводами, установленные на ленты или наклеенные на носители, для микроэлектромеханических устройств с многоярусным размещением кристаллов.

УНИКАЛЬНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА
 
Сенсорный датчик FSM 413 Echoprobe™ использует запатентованную инфракрасную (ИК) интерферометрическую технологию, обеспечивающую прямое и точное картографирование пластин, от толстых до сверхтонких, измерение толщины подложки и изменение толщины (TTV). Несколько прозрачных в ИК луче материалов, таких как Si, GaAs, InP, SiC, стекло, кварц и многие полимеры, хорошо измеряются при стандартном пространственном разрешении светового пятна 60 микрон (доступны и меньшие размеры пятна).
При помощи системы с одним датчиком можно с высокой точностью определить толщину подложки обычных пластин со структурами, лентами, контактными выводами, или толщину пластин, наклеенных на носители. При конфигурировании системы с двумя датчиками FSM413 также обеспечивает измерение общей толщины пластины, включая толщину подложки и структурированную по высоте толщину.
Доступны возможности для измерения деформации пластин, глубины канавок и межслойных отверстий, включая канавки и отверстия с высоким аспектным отношением в устройствах микроэлектромеханического типа. Также имеются различные специализированные способы применения микроэлектромеханических устройств, включая измерение мембран и измерение высоты контактных выводов.

FSM 413-200 Полуавтоматическое устройство измерения толщины пластин (до 200 мм). Также имеется устройство 413-300 для измерения пластин толщиной до 300 мм.

Технология Echoprobe™ обеспечивает прямое и точное измерение толщины подложки в сверхтонких (< 100 мкм) пластин или утонченной подложки в склеенной структуре:
• Измерение толщины сверхтонких пластин
• Полное измерение и картографирование толщины
• Сверхтонкие пластины (< 100 мкм)
• Пластины с контактными выводами
• Пластины с лентами
• Пластины на рамах резки на кристаллы
• Деформированные пластины

Спецификация системы FSM 413-200/FSM 413-300

Технология:
Бесконтактная ИК инферометрия. С одним или двумя датчиками
Размеры пластин:
50, 75, 100, 200 и 300 мм. Размеры пластин под заказ также возможны.
Подложка:
Si, GaAs, InP, Кварц, Стекло, SiC, Сапфир *.
Диапазон толщины: от 30 до 780 мкм для измерения одним датчиком и до 3 мм для измерения двумя датчиками (общая толщина).
Подача пластины:
Ручная
Способ измерения:
Полуавтоматический с точным ориентированием платформы по осям x-y.
Разрешениее:
(Дисплей): 0,01 мкм.
Повторяемость:
0,1 мкм (1 сигма) в режиме с одним датчиком** 0,8 мкм (1 сигма) в режиме с двумя датчиками**
Точность:
0,5 мкм (1 sigma)**
Точки измерения:
программируются
Результаты измерения толщины подложки:
TTV, Среднее, Максимальное, Минимальное, StDev, цветные карты 2D и 3D

ОПЦИИ

Диапазон измерения деформации:
Свяжитесь с АКТАН ВАКУУМ, чтобы уточнить подробности
Повторяемость деформации:
Свяжитесь с АКТАН ВАКУУМ, чтобы уточнить подробности
Шероховатость поверхности:
Диапазон RMS 20 - 1000 A
Измерение глубины канавок:
Свяжитесь с АКТАН ВАКУУМ, чтобы уточнить подробности
Измерение толщины полиамидной пленки и эпоксидного слоя:
Свяжитесь с АКТАН ВАКУУМ, чтобы уточнить подробности
Измерение высоты контактных выводов:
Свяжитесь с АКТАН ВАКУУМ, чтобы уточнить подробности
Размеры (основное оборудование):
413-200: 26 (Ш) x 36 (Г) x 56 (В) дюймов
413-300: 32 (Ш) x 46 (Г) x 66 (В) дюймов
Вес (брутто):
500 фунтов
Питание:
110 или 220 В перем. тока, 50/60 Гц, одна фаза, 3 жилы
Необходимый вакуум:
100 мм Hg

* Поверхность должна быть гладкой (общая неровность < 0 1 мкм, RMS)
** На неструктурированных двусторонних полированных недопированных Si пластинах толщиной150 мкм
 

ВОЗМОЖНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ  
Измерение глубины канавок
Измерение шероховатость поверхности
Измерение толщины тонких пленок
Измерение толщины эпоксидного слоя
Измерение деформации
Измерение высоты контактных выводов

Серия FSM 413 включает ручную, полуавтоматическую и полностью автоматическую системы измерения толщины.


                     Полуавтоматическая                Ручная                      Полностью Автоматическая