АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника.
English
О компании АКТАН ВАКУУМ
Каталог оборудования
Видео компании АКТАН ВАКУУМ
Запрос информации АКТАН ВАКУУМ
Контакты АКТАН ВАКУУМ
Каталог вакуумной техники,вакуумной арматуры,  вакуумных печей.


Купить вакуумное оборудование в
Интернет магазине eVacuum.ru




Системы измерения напряжений в тонких плёнках
Встраиваемые системы оптического контроля
Кварцевые измерители толщины напыляемых пленок.
Держатели кварцевых кристаллов
Кварцевые кристаллы



Распродажи

Вакансии Все вакансии АКТАН ВАКУУМ


Новости
       Все новости АКТАН ВАКУУМ

2015. Интернет магазин eVacuum.ru предлагает все необходимые комплектующие для создания, проектирования и модернизации вакуумных систем.
Купить вакуумное оборудование в
интернет магазине eVacuum.ru



03.11.2016

Специалисты компании АКТАН ВАКУУМ приняли участие в тренинге от компании Thyracont
подробнее...


01.11.2016

Специально для вакуумных датчиков Thyracont разработан Bluetooth-адаптер
подробнее...

26.04.2016.

С 12 по 14 апреля 2016 г компания ООО "АКТАН ВАКУУМ" приняла участие в 11-й Международной выставке вакуумного оборудования VacuumTechExpo 2016. подробнее...

08.04.2016.

11-я выставка вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо!
Уважаемые посетители, приглашаем Вас посетить наш стенд на 11-й выставке вакуумного оборудования ВакуумТехЭкспо! Выставка будет проходить с 12 по 14 апреля 2016 г по адресу: Москва, КВЦ "Сокольники", павильон № 2
Получите бесплатный электронный билет посетителя выставки

подробнее...

30.09.2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в 12-ой Международной выставке Aerospace Testing & Control 2015 подробнее

09.09.2015.

С 27 по 29 октября 2015г. в Москве, в павильоне "Крокус Экспо", пройдёт 12-я Международная выставка Aerospace Testing & Control. Получить электронный билет посетителя выставки

подробнее...

06.2015

Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в общеевропейском тренинге компании Alicat Scientific...
подробнее о тренинге...

2015.
Компания АКТАН ВАКУУМ приняла участие в выставках в России в 2015 году:

подробнее...



АКТАН ВАКУУМ. Вся вакуумная техника. Термическое оборудование. Напылительное оборудование и измерительное для напылительных технологий

ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАПЫЛИТЕЛЬНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ 

Все системы анализа тонких пленок

 

Анализ тонких пленок. Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет системы картографирования напряжений в тонкой пленке и изгиба пластины.

Ручная система FSM 128-NT (200 мм картографирования напряжений в тонкой пленке и изгиба пластины

Ручная система FSM 128-NT (200 мм картографирования напряжений в тонкой пленке и изгиба пластины2

Система является полуавтоматическим инструментом для измерения напряжения при комнатной температуре. Напряжение в пластине определяется путем измерения искривления пластины до и после нанесения пленки на кремниевые пластины.

Характеристики включают:
• Ручную подачу пластин на столик.
• Способность принимать пластины 200 мм и меньше.
• Моторизованный вращающийся столик для простой и лёгкой загрузки/выгрузки пластин, а также их картографирования.

Безопасность.
• Система соответствует стандартам S2-0200.
• Предусмотрена схема аварийного отключения для общего обесточивания оборудования в случае аварийной ситуации — схемы аварийного отключения дополнены схемой управления, которая может активироваться вручную для возобновления питания оборудования. Кнопки аварийного отключения красного цвета имеют грибовидную форму диаметром один дюйм и снабжены защитным экраном для предотвращения случайного нажатия.

КОНФИГУРАЦИЯ СИСТЕМЫ

Система включает:
•  Одно устройство для измерения напряжения.
•  Столик, способный поворачиваться на 360 градусов.
•  Жёсткий диск 80 ГБ или более, ОЗУ 512 МБ, CD-RW и дисковод для дискет 1,44 дюйма.
•  Система включает плоский цветной монитор 17 дюймов.
•  Все системное ПО самых последних версий, предлагаемых FSM.

ИЗМЕРЕНИЯ И ФУНКЦИИ
• Система может определять напряжение в пленке (на сжатие или на растяжение) от 1 х 107 дин/см2
до 4 х 1010 дин/см2.
• Система может производить однолинейное или многолинейное сканирование для картографирования напряжения
или изгиба пластины.
• Результаты измерения напряжения в пленке и изгиба пластины могут представляться и распечатываться
в табличной форме.
• Карты напряжения и изгиба пластины могут экспортироваться как файлы изображений (bmp).
• Пластины до и после напряжения могут отслеживаться по номеру пластины или идентификационному коду пластины.
 

СПЕЦИФИКАЦИИ ДАТЧИКОВ НАПРЯЖЕНИЯ
Описание
Спецификация системы картографирования напряжений в тонкой пленке и изгиба пластины
Диапазон напряжения От 1 x 107 до 4 x 1010 дин/см2
(При условии, что изменение искривления пластины до и после обработки более 1 микрона (высота изгиба) для линии сканирования 194 мм.)
Чувствительность измерения изгиба пластины Изменение изгиба по высоте 1 микрон
Размеры пластин  100, 150 или 200 мм
Диапазон сканирования До 194 мм с исключением 3 мм по краям
Линия сканирования     Одна линия сканирования при любой ориентации пластины
Картографирование    Несколько линий сканирования для карт пластин, рекомендуется 6 линий
Воспроизводимость    1,0 % (1 сигма) среднего значения с использованием осажденной при 5000 А пленки W, окружающая температура, повтор 20 раз
Отчет о результатах  Напряжение в пленке, радиус, высота изгиба пластины, толщина подложки, толщина пленки, дата и время 
Тип лазера Двойная длина волны, лазерные диоды 650 нм и 780 нм

РАБОТА С ПЛАСТИНОЙ
• Ручная загрузка/выгрузка .
• Прикасаться и брать пластины только за заднюю часть. Запрещается контакт пластин с металлом.
• Пластины опираются на три керамические опоры на столике.

НАДЕЖНОСТЬ / ОБСЛУЖИВАНИЕ / ГОТОВНОСТЬ
Описание
Спецификация
Среднее время между отказами (MTBF)  1500 часов
Среднее время между обращениями за помощью (MTBA)  720 часов
Среднее время на ремонт (MTTR)  < 4 часов
Готовность оборудования  98 %

 
ГАРАНТИЯ1
Гарантийный срок от производственных дефектов на детали и изготовление составляет 12 месяцев с даты приемки или 14 месяцев с даты отгрузки с завода, в зависимости от того, что наступит раньше. Приемка инструмента должна производиться не позднее 2 месяцев с даты отгрузки с завода.

ПРИМЕЧАНИЯ:
1
 Расходные материалы не покрываются гарантией.
2  Все пункты в данном стандарте подлежат изменению в зависимости от предоставления покупателем заказа на покупку, спецификаций (если нужно) и соглашения между АКТАН ВАКУУМ и покупателем по срокам и условиям покупки.

 


Контактный email:  post@actan.ru
Контактный телефон: (495) 725 -26 -28,   8 (800) 200-24-08

Мобильная версия m.actan.ru

Copyright © 2004-2017 АКТАН ВАКУУМ  
Использование материалов сайта без разрешения ООО«АКТАН ВАКУУМ» не допускается.
Rambler's Top100
Яндекс.Метрика