Анализ тонких пленок. Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет системы картографирования напряжений в тонкой пленке и изгиба пластины.

Ручная система FSM 128-NT (200 мм картографирования напряжений в тонкой пленке и изгиба пластины²

Система является полуавтоматическим инструментом для измерения напряжения при комнатной температуре. Напряжение в пластине определяется путем измерения искривления пластины до и после нанесения пленки на кремниевые пластины.

Характеристики включают:
• Ручную подачу пластин на столик.
• Способность принимать пластины 200 мм и меньше.
• Моторизованный вращающийся столик для простой и лёгкой загрузки/выгрузки пластин, а также их картографирования.

Безопасность.
• Система соответствует стандартам S2-0200.
• Предусмотрена схема аварийного отключения для общего обесточивания оборудования в случае аварийной ситуации — схемы аварийного отключения дополнены схемой управления, которая может активироваться вручную для возобновления питания оборудования. Кнопки аварийного отключения красного цвета имеют грибовидную форму диаметром один дюйм и снабжены защитным экраном для предотвращения случайного нажатия.

КОНФИГУРАЦИЯ СИСТЕМЫ

Система включает:
•  Одно устройство для измерения напряжения.
•  Столик, способный поворачиваться на 360 градусов.
•  Жёсткий диск 80 ГБ или более, ОЗУ 512 МБ, CD-RW и дисковод для дискет 1,44 дюйма.
•  Система включает плоский цветной монитор 17 дюймов.
•  Все системное ПО самых последних версий, предлагаемых FSM.

ИЗМЕРЕНИЯ И ФУНКЦИИ
• Система может определять напряжение в пленке (на сжатие или на растяжение) от 1 х 107 дин/см²
до 4 х 1010 дин/см².
• Система может производить однолинейное или многолинейное сканирование для картографирования напряжения
или изгиба пластины.
• Результаты измерения напряжения в пленке и изгиба пластины могут представляться и распечатываться
в табличной форме.
• Карты напряжения и изгиба пластины могут экспортироваться как файлы изображений (bmp).
• Пластины до и после напряжения могут отслеживаться по номеру пластины или идентификационному коду пластины.
 

СПЕЦИФИКАЦИИ ДАТЧИКОВ НАПРЯЖЕНИЯ

Описание	Спецификация системы картографирования напряжений в тонкой пленке и изгиба пластины
Диапазон напряжения	От 1 x 107 до 4 x 1010 дин/см2 (При условии, что изменение искривления пластины до и после обработки более 1 микрона (высота изгиба) для линии сканирования 194 мм.)
Чувствительность измерения изгиба пластины	Изменение изгиба по высоте 1 микрон
Размеры пластин	100, 150 или 200 мм
Диапазон сканирования	До 194 мм с исключением 3 мм по краям
Линия сканирования	Одна линия сканирования при любой ориентации пластины
Картографирование	Несколько линий сканирования для карт пластин, рекомендуется 6 линий
Воспроизводимость	1,0 % (1 сигма) среднего значения с использованием осажденной при 5000 А пленки W, окружающая температура, повтор 20 раз
Отчет о результатах	Напряжение в пленке, радиус, высота изгиба пластины, толщина подложки, толщина пленки, дата и время
Тип лазера	Двойная длина волны, лазерные диоды 650 нм и 780 нм

РАБОТА С ПЛАСТИНОЙ
• Ручная загрузка/выгрузка .
• Прикасаться и брать пластины только за заднюю часть. Запрещается контакт пластин с металлом.
• Пластины опираются на три керамические опоры на столике.

НАДЕЖНОСТЬ / ОБСЛУЖИВАНИЕ / ГОТОВНОСТЬ

Описание	Спецификация
Среднее время между отказами (MTBF)	1500 часов
Среднее время между обращениями за помощью (MTBA)	720 часов
Среднее время на ремонт (MTTR)	< 4 часов
Готовность оборудования	98 %

 
ГАРАНТИЯ¹
Гарантийный срок от производственных дефектов на детали и изготовление составляет 12 месяцев с даты приемки или 14 месяцев с даты отгрузки с завода, в зависимости от того, что наступит раньше. Приемка инструмента должна производиться не позднее 2 месяцев с даты отгрузки с завода.

ПРИМЕЧАНИЯ:
¹  Расходные материалы не покрываются гарантией.
²  Все пункты в данном стандарте подлежат изменению в зависимости от предоставления покупателем заказа на покупку, спецификаций (если нужно) и соглашения между АКТАН ВАКУУМ и покупателем по срокам и условиям покупки.