Анализ тонких пленок. Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет системы измерения напряжения в тонких плёнках.

Система измерения напряжения в тонких плёнках серии FSM 128
 
Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет простую, удобную в работе систему для измерения напряжения в тонких плёнках FSM-128. Компания FSM была одной из первых, которая применила технологию лазерного сканирования для измерения прогиба пластин под действием внутренних напряжений в осаждённых плёнках. Несколько сотен данных систем были поставлены практически в каждую крупную лабораторию или завод, занимающиеся полупроводниковым производством на базе Si, GaAs, InP, или производством или разработкой плоских дисплеев. Система может работать при комнатой температуре или при высоких температурах.

На сегодняшний день данная система является наиболее простой и надежной настольной системой измерения напряженности в полупроводниковой промышленности. Измерение напряжения тонкой плёнки производится путём измерения кривизны поверхности пластины до и после процесса напыления тонкой плёнки. Разница в радиусе кривизны используется для вычисления напряжения по уравнению Стоуна. Измерение радиуса кривизны осуществляется лазерной системой.

В общем случае, напряжение появляется при соединении двух материалов с разным коэффициентом термического расширения. Плёнки (или плёнка и подложка) могут одинаково себя вести при высоких температурах (например, в процессе напыления), но при охлаждении плёнки могут сжиматься/расширяться по-разному, что является причиной возникновения внутреннего напряжения. В плёнке, которая имеет повышенное внутреннее напряжение, возникают разные дефекты: пустоты, трещины, начинается отслаивание плёнки.

Система измерения напряжения в тонких плёнках FSM 128 предлагает наиболее, широко известный и хорошо зарекомендовавший метод для измерения прогиба пластины. Измерения проводятся быстро, не требуется специальных сложных навыков от оператора. Метод измерения бесконтактный, что позволяет использовать его для контроля непосредственно выходящей продукции. Измерения происходят с высокой точностью. При этом данная система измерения напряжения в тонких плёнках позволяет быстро измерять и отображать на 2D или 3D карте напряжение или изгиб пластины.

Система измерения напряжения в тонких плёнках FSM 128 позволяет измерять образцы до 200 мм, система FSM128L – до 300 мм, FSM-128G предназначена для тестирования плоских панелей, и позволяет измерять прогиб (напряжение в плёнке) в панелях размером до 550х650 мм.

СПЕЦИФИКАЦИЯ СИСТЕМЫ ИЗМЕРЕНИЯ НАПРЯЖЕНИЯ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ СЕРИИ 128

Исследование напряженности при изменении температуры:
Ключевой особенностью системы является ее способность проводить исследования при высоких температурах, моделируя таким образом работу покрытия в различных условиях эксплуатации. Измерение напряжения может быть сделано в диапазоне температур от комнатных до 500° при скорости нагрева до 30°C в минуту. Понимание изменения напряжения плёнки при изменении температуры является одним из важнейших знаний о полученной плёнке, и позволяет судить о таких свойствах, как релаксация напряжений, изменение свойств при изменении влажности или фазового состава. В свою очередь, это помогает отслеживать и контролировать свойства плёнки при изменении таких параметров процесса, как энергия напыления, температура в камере, поток газа.

ОСОБЕННОСТИ СИСТЕМЫ ИЗМЕРЕНИЯ НАПРЯЖЕНИЯ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ СЕРИИ 128
• Наиболее привлекательная цена для систем измерения напряжения в плёнке с
 ручной загрузкой.
• Портативный прибор – устанавливается на столе.
• Простой и быстрый в изучении и использовании.
• Измеряет 40 данных на 1 мм, более 10 тыс. точек на пластине 300 мм.
• Позволяет отображать карту напряжений и изгиба пластины в 2D виде
• > 500 приборов находятся в использовании по всему миру.
• Может измерять разные пластины в диапазоне от 50 до 300 мм

FSM128 и FSM128L представляют собой настольные устройства для измерения пластин 200 мм и 300 мм. Они состоят из основного сканирующего устройства, компьютера (не показан), монитора, клавиатуры и мыши. Устройство показано в положении подачи пластины.

ХАРАКТЕРИСТИКИ и ТЕХНИЧЕСКИЕ СПЕЦИФИКАЦИИ
1) Трехмерное картографирование.
2) FSM128 имеет автоматизированный стол для эргономичной подачи пластин.
3) Программный интерфейс использует удобную для пользователя среду Windows™.
4) Обеспечивается легкий доступ к меню, инструментам, строкам состояния и файловой структуре.
5) Данные можно экспортировать для использования с другими программами.
6) Измерение напряжения пластин.
7) Измерение плоскостности пластин.

СХЕМА СИСТЕМЫ ИЗМЕРЕНИЯ НАПРЯЖЕНИЯ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ СЕРИИ 128