|
Подробное техническое описание пасходомера и контроллера потока газа для приложений с использованием коррозионных газов серии MS/MCS
Описание серии
Цифровые расходомеры потока газа серии MS, производимые компанией Alicat Scientific, проводят точное и оперативное измерение массового расхода, объемного расхода, давления и температуры коррозионных технологических газов, таких как NH3, H2S и SiH4. Контроллеры потока газа серии MCS осуществляют точное управление массовым расходом, объемным расходом и давлением посредством быстродействующих пропорционально регулирующих клапанов.
В устройствах серий MS/MCS производства компании Alicat применяется запатентованная, внутренне сбалансированная, технология измерения перепада давления ламинарного потока, позволяющая вычислять значения расхода, линейно зависимые от перепада давления, в очень широком диапазоне.
Прибор отображает значения объемного и массового расхода, скорректированные с учетом изменений давления и температуры газа, также учитывающие заданные пользователем нормальные температуру и давление.
Во всех расходомерах и контроллерах потока газа предустановлены контролепригодные согласно стандартам Национального института стандартов и технологий (США) калибровки. Также в отношении каждого устройства компания реализует программу многосторонней технической поддержки, включая бесплатную техническую поддержку по телефону и гарантию на весь срок службы.
Для изготовления расходомеров и контроллеров потока газа Alicat серий MS и MCS применяются коррозионностойкие эластомеры, расходомерные трубки изготовлены из нержавеющей стали. Помимо этого, в устройствах предустановлены от 34 до 36 калибровок газов.
Приборы оснащены большими встроенными дисплеями с сенсорными панелями, при помощи которых оператор может выбрать нужную калибровку, отрегулировать уставку, а также изменить настройки ПИД-регулятора, управляющего работой клапана.
Помимо этого, возможны другие модификации приборов, включая устройства с сертификацией согласно стандартам ATEX/CSA (класс 1, Div 2) для применения в опасной окружающей среде и расходомеры с питанием от аккумуляторной батареи (серия MBS).
Применение
Цифровые расходомеры потока газа, а также контроллеры потока газа серий MS и MCS, производимые компанией Alicat Scientific, лучше всего подходят для приложений, требующих использования коррозионных газов, для таких сфер как полупроводниковая промышленность и фотоэлектрическая энергетика. Благодаря отличным техническим характеристикам (возможность одновременного измерения сразу нескольких величин, многофункциональное управление, наличие калибровок для множества газов, отношение верхнего предела измерения к нижнему 100:1) как расходомер, так контроллер серий MS либо MCS могут заменить несколько специализированных устройств. Прекрасные рабочие характеристики прибора (достижимая точность 0.4%, повторяемость 0.2% от полной шкалы и время отклика элемента управления <100 мс) обеспечивают максимальную эффективность приложений, связанных с управлением потоками газа.
Диапазон измерений устройств серии MS и MCS варьируется от 0-0.5 ст.см3/мин (нижняя граница измерения) до до 0-3000 ст.л./мин (верхняя граница измерения).
Технические характеристики контроллеров потока газа Alicat MS
Диапазон измерений: от 0-0.5 ст.см3/мин (нижняя граница измерения) до до 0-3000 ст.л./мин (верхняя граница измерения).
Приборы серии MS, производимые компаний Alicat, предназначены для применения с рядом коррозионных газов.
Стандартные технические характеристики (для того чтобы получить информацию о возможных модификациях прибора, свяжитесь с компанией АКТАН ВАКУУМ).
Рабочие характеристики |
Контроллеры потока газа серии MCS и MCRS |
Точность измерения по завершении тарирования |
± (0.8% от показания + 0.2% от полной шкалы) |
Высокая точность измерения по завершении тарирования |
± (0.4% от показания + 0.2% от полной шкалы)
Опция «высокая точность» не доступна для устройств с предельным показанием шкалы ниже 5 ст.см3/мин либо выше 500 ст.л./мин.
|
Повторяемость |
± 0.2% от полной шкалы |
Смещение начальной и конечной точки характеристики |
0.02% от полной шкалы / по Цельсию / атм |
Рабочий диапазон / Отношение верхнего предела измерения к нижнему |
от 1% до 100% от полной шкалы / 100:1 (отношение верхнего предела измерения к нижнему) |
Верхний предел регулирования расхода |
102.4% от полной шкалы |
Типовое время отклика |
100 мс (настраиваемая величина) |
Время готовности к работе |
< 1 секунды |
Эксплуатационные условия |
Контроллеры потока газа MCS и MCRS |
Нормальные условия эксплуатации (нормальные температура и давление) |
25ºC и абсолютное давление 14.696 фунт-сила/дюйм2 (стандартно — другие условия возможны по запросу) |
Рабочая температура |
от −10 до +50 º по Цельсию |
Диапазон значений влажности (без конденсации) |
от 0 до 100% |
Максимальное давление |
манометрическое давление 145 фунт-сила/дюйм2
|
Чувствительность к положению при монтаже |
MCS: отсутствует |
MCRS: Корпус клапана необходимо установить в вертикальном неперевернутом положении |
Тип клапана |
нормально закрытый |
Степень защиты от воздействия окружающей среды |
IP40 |
Материалы, контактирующие с измеряемой средой |
316LSS, 303SS, 430FRSS, перфтор-каучук FFKM (Kalrez) стандартно, Viton (эластомер), EPDM (этилен-пропиленовый каучук), Buna (синтетический каучук), неопрен для некоторых газов
Если в вашем приложении требуется использование других материалов, пожалуйста, свяжитесь с компанией АКТАН ВАКУУМ. |
Передача данных / Источник питания |
Контроллеры потока газа MCS и MCRS |
Монохромный ЖКД либо цветной ЖКД на тонкопленочных транзисторах со встроенной сенсорной панелью |
Одновременно отображает значения массового расхода, объемного расхода, давления и температуры |
Цифровой выходной сигнал (возможные варианты)1 |
последовательный интерфейс RS-232 / последовательный интерфейс RS-485 / PROFIBUS3 |
Аналоговый выходной сигнал (возможные варианты)2 |
0-5 В постоянного тока / 1-5 В постоянного тока / 0-10 В постоянного тока / 4-20 мА |
Второй аналоговый выходной сигнал, поставляемый по отдельному заказу2 |
0-5 / 1-5 В постоянного тока / 0-10 В постоянного тока / 4-20 мА |
Варианты электрического соединения |
8-контактный разъем Mini-DIN / 9-контактный разъем D-sub (DB9) / 15-контактный разъем D-sub (DB15) / 6-контактный электрический разъем |
Напряжение источника питания |
MCS: от 12 до 30 В постоянного тока (15-30 В постоянного тока для выходов 4-20 мА) |
MCRS: от 24 до 30 В постоянного тока |
Ток источника питания |
MCS: 0.250 А |
MCRS: 0.750 А |
1 Цифровой выходной сигнал передает информацию о массовом расходе, объемном расходе, давлении и температуре.
2 Аналоговый выходной сигнал и второй аналоговый выходной сигнал, поставляемый по отдельному заказу, передают информацию о Вашем выборе массового расхода, объемного расхода, давления либо температуры.
3 В системе PROFIBUS не доступен аналоговый сигнал. Устройства PROFIBUS не оборудованы дисплеем. См. технические характеристики PROFIBUS для того, чтобы получить информацию о напряжении и силе тока источника питания для PROFIBUS
|
Все расходомеры и регуляторы расхода газов Alicat по умолчанию откалиброваны более чем на 130 газов: |
Чистые некоррозионные газы (Pure non-corrosive gases) |
C2H2, воздух, Ar, i-C4H10, n-C4H10, CO2, CO, D2, C2H6, C2H4, He, H2, Kr, CH4, Ne, N2, N2O, O2, C3H8, SF6, Xe |
Чистые коррозионные газы (Pure corrosives gases) |
NH3, 1Butene, cButene, iButene, tButene, COS, Cl2, CH3OCH3, H2S, NF3, NO, C3H6, SiH4, SO2 |
Охлаждающие газы (Refrigerants) |
R-11, R-115, R-116, R-124, R-125, R-134A, R-14, R-142b, R-143a, R-152a, R-22, R-23, R-32, RC-318, R-404A, R-407C, R-410A, R-507A |
Дыхательные газы (Breathing gases) |
EAN-32, EAN, EAN-40, HeOx-20, HeOx-21, HeOx-30, HeOx-40, HeOx-50, HeOx-60, HeOx-80, HeOx-99, EA-40, EA-60, EA-80, Metabol |
Биореактивные газы (Bioreactor gases) |
Bio-5M, Bio-10M, Bio-15M, Bio-20M, Bio-25M, Bio-30M, Bio-35M, Bio-40M, Bio-45M, Bio-50M, Bio-55M, Bio-60M, Bio-65M, Bio-70M, Bio-75M, Bio-80M, Bio-85M, Bio-90M, Bio-95M |
Топливные газы (Fuel gases) |
Syn Gas-1, Syn Gas-2, Syn Gas-3, Syn Gas-4, Nat Gas-1, Nat Gas-2, Nat Gas-3, Coal Gas, Endo, HHO, HD-5, HD-10 |
Хроматографические газы (Chromatography gases) |
P-5, P-10 |
Лазерные газы (Laser gases) |
LG-4.5, LG-6, LG-7, LG-9, HeNe-9, LG-9.4 |
Сварочные газы (Welding gases) |
C-2, C-8, C-10, C-15, C-20, C-25, C-50, C-75, He-25, He-50, He-75, He-90, A1025, Star29 |
Газы, концентрирующие кислород (O2 Concentrator gases) |
OCG-89, OCG-93, OCG-95 |
Топочные газы (Stack gases) |
FG-1, FG-2, FG-3, FG-4, FG-5, FG-6 |
Подробнее со Списком предустановленных газов вы можете ознакомиться, перейдя по ссылке |
Технические характеристики, соответствующие различным диапазонам
Предельное показание шкалы контроллеров потока газа |
Перепад давления1, соответствующий предельному показанию шкалы контроллеров потока газа (фунт-сила/дюйм2;с отводом газа в атмосферу) |
Размеры прибора |
Технологические соединения2 |
MCS от 0.5 ст.см3/мин до 50 ст.см3/мин |
1.0 |
4.4”В x 3.4”Ш x 1.1”Г
|
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MCS от 100 ст.см3/мин до 500 ст.см3/мин |
1.0 |
4.6”В x 3.6”Ш x 1.1”Г |
внутренняя резьба 1/8” NPT |
MCS 1 ст.л./мин |
1.5 |
MCS 2 ст.л./мин |
3.0 |
MCS 5 ст.л./мин |
2.0 |
MCS 10 ст.л./мин |
5.5 |
MCS 20 ст.л./мин |
20.0 |
MCRS 50 ст.л./мин |
2.0 |
5.7”В x 7.7”Ш x 2.3”Г |
внутренняя резьба 1/4” NPT |
MCRS 100 ст.л./мин |
3.2 |
MCRS 250 ст.л./мин |
2.4 |
6.0”В x 7.7”Ш x 2.3”Г |
внутренняя резьба 1/2” NPT |
MCRS 500 ст.л./мин |
6.5 |
6.0”В x 7.3”Ш x 2.3”Г |
внутренняя резьба 3/4” NPT
(для контроллеров с верхней границей измерения 2000 ст.л./мин доступно соединение с внутренней резьбой 1-1/4” NPT) |
MCRS 1000 ст.л./мин |
14.0 |
MCRS 1500 ст.л./мин |
17.0 |
MCRS 2000 ст.л./мин |
28.6 |
6.0”В x 8.1”Ш x 2.9”Г |
MCRS 3000 ст.л./мин |
16.8 |
6.0”В x 8.9”Ш x 2.9”Г |
внутренняя резьба 1-1/4” NPT |
1. Доступны версии для приложений с низким перепадом давления: пожалуйста, ознакомьтесь с информацией о контроллерах потока газа серии WHISPER, представленных вашему вниманию на нашем сайте
2. Совместимы с фитингами с торцевым уплотнением, вставляемыми нажатием соединениями, а также обжимными фитингами и трубными переходниками производства компаний Beswick®, Swagelok® , Parker®. По запросу поставляются соединения VCR и SAE
3. Поставляется с торцевым кольцевым уплотнением наружной резьбы M-5 (10-32), изготовленным из материала Buna-N, к фитингам с внутренней резьбой 1/8” NPT. |
|
Модель |
Диапазон работы |
Ед. измерения |
Технологические соединения |
MCS-0.5SCCM-D |
0,005 - 0,5 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MCS-1SCCM-D |
0,01 - 1 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MCS-2SCCM-D |
0,02 - 2 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MCS-5SCCM-D |
0,05 - 5 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MCS-10SCCM-D |
0,1 - 10 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MCS-20SCCM-D |
0,2 - 20 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MCS-50SCCM-D |
0,5 - 50 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MCS-100SCCM-D |
1 - 100 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MCS-200SCCM-D |
2 - 200 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MCS-500SCCM-D |
5 - 500 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MCS-1SLPM-D |
0,01 - 1 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MCS-2SLPM-D |
0,02 - 2 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MCS-5SLPM-D |
0,05 - 5 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MCS-10SLPM-D |
0,1 - 10 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MCS-20SLPM-D |
0,2 - 20 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MCRS/MCHS-50SLPM-D |
0,5 - 50 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/4" NPT |
MCRS/MCHS-100SLPM-D |
1 - 100 |
ст.л./мин |
внешняя резьба 1/4 " VCR |
MCRS-250SLPM-D |
2,5 - 250 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/2" NPT |
MCRS-500SLPM-D |
5 - 500 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 3/4" NPT |
MCRS-1000SLPM-D |
10 - 1000 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 3/4" NPT |
MCRS-1500SLPM-D |
15 - 1500 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 3/4" NPT |
MCRS-2000SLPM-D-PAR |
20 - 2000 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 3/4" NPT |
MCRS-3000SLPM-D-PAR |
30 - 3000 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 3/4" NPT |
MCRHS-5000SLPM-D-PAR |
50 - 5000 |
ст.л./мин |
|
Применение расходомеров и контроллеров потока газа, жидкости компании ALICAT SCIENTIFIC:
1. Надёжная поставка воздуха для автоматических систем покраски.
2. Контроль расхода газа для напыляющей плазменной установки.
3. TIG (сварка вольфрамовым электродом в инертном газе).
4. Быстрая проверка оборудования на наличие течи.
|
|