|
Подробное техническое описание расходомера и контроллера потока газа для приложений с использованием коррозионных газов серии MS/MCS
Описание серии
Цифровые расходомеры потока газа серии MS, производимые компанией Alicat Scientific, проводят точное и оперативное измерение массового расхода, объемного расхода, давления и температуры коррозионных технологических газов, таких как NH3, H2S и SiH4.
Контроллеры потока газа серии MCS осуществляют точное управление массовым расходом, объемным расходом и давлением посредством быстродействующих пропорционально регулирующих клапанов.
В устройствах серий MS/MCS производства компании Alicat применяется запатентованная, внутренне сбалансированная, технология измерения перепада давления ламинарного потока, позволяющая вычислять значения расхода, линейно зависимые от перепада давления, в очень широком диапазоне.
Прибор отображает значения объемного и массового расхода, скорректированные с учетом изменений давления и температуры газа, также учитывающие заданные пользователем нормальные температуру и давление.
Во всех расходомерах и контроллерах потока газа предустановлены контролепригодные согласно стандартам Национального института стандартов и технологий (США) калибровки. Также в отношении каждого устройства компания реализует программу многосторонней технической поддержки, включая бесплатную техническую поддержку по телефону и гарантию на весь срок службы.
Для изготовления расходомеров и контроллеров потока газа Alicat серий MS и MCS применяются коррозионностойкие эластомеры, расходомерные трубки изготовлены из нержавеющей стали. Помимо этого, в устройствах предустановлены от 34 до 36 калибровок газов. Приборы оснащены большими встроенными дисплеями с сенсорными панелями, при помощи которых оператор может выбрать нужную калибровку, отрегулировать уставку, а также изменить настройки ПИД-регулятора, управляющего работой клапана. Помимо этого, возможны другие модификации приборов, включая устройства с сертификацией согласно стандартам ATEX/CSA (класс 1, Div 2) для применения в опасной окружающей среде и расходомеры с питанием от аккумуляторной батареи (серия MBS).
Применение
Цифровые расходомеры потока газа, а также контроллеры потока газа серий MS и MCS, производимые компанией Alicat Scientific, лучше всего подходят для приложений, требующих использования коррозионных газов, для таких сфер как полупроводниковая промышленность и фотоэлектрическая энергетика. Благодаря отличным техническим характеристикам (возможность одновременного измерения сразу нескольких величин, многофункциональное управление, наличие калибровок для множества газов, отношение верхнего предела измерения к нижнему 100:1) как расходомер, так контроллер серий MS либо MCS могут заменить несколько специализированных устройств. Прекрасные рабочие характеристики прибора (достижимая точность 0.4%, повторяемость 0.2% от полной шкалы и время отклика элемента управления <100 мс) обеспечивают максимальную эффективность приложений, связанных с управлением потоками газа.
Диапазон измерений устройств серии MS и MCS варьируется от 0-0.5 ст.см3/мин (нижняя граница измерения) до до 0-3000 ст.л./мин (верхняя граница измерения).
Технические характеристики расходомеров потока газа Alicat MS
Диапазон измерений: от 0-0.5 ст.см3/мин (нижняя граница измерения) до до 0-3000 ст.л./мин (верхняя граница измерения).
Приборы серии MS, производимые компаний Alicat, предназначены для применения с рядом коррозионных газов.
Стандартные технические характеристики (для того чтобы получить информацию о возможных модификациях прибора, свяжитесь с компанией АКТАН ВАКУУМ).
Рабочие характеристики |
Расходомер потока газа серии MS |
| Точность измерения по завершении тарирования |
± (0.8% от показания + 0.2% от полной шкалы) |
| Высокая точность измерения по завершении тарирования |
± (0.4% от показания + 0.2% от полной шкалы)
Опция «высокая точность» не доступна для устройств с предельным показанием шкалы ниже 5 ст.см3/мин либо выше 500 ст.л./мин.
|
| Точность измерения двунаправленных расходомеров по завершении тарирования |
± (0.8% от показания + 0.2% от полного диапазона отрицательных и положительных значений измерений) |
| Повторяемость |
± 0.2% от полной шкалы |
| Смещение начальной и конечной точки характеристики |
0.02% от полной шкалы / по Цельсию / атм |
| Рабочий диапазон / Отношение верхнего предела измерения к нижнему |
от 1% до 100% от полной шкалы / 100:1 (отношение верхнего предела измерения к нижнему) |
| Верхний предел измерения расхода |
128% от полной шкалы |
| Типовое время отклика |
10 мс (настраиваемая величина) |
| Время готовности к работе |
< 1 секунды |
Эксплуатационные условия |
Расходомер потока газа серии MS |
| Нормальные условия эксплуатации (нормальные температура и давление) |
25ºC и абсолютное давление 14.696 фунт-сила/дюйм2
(стандартно — другие условия возможны по запросу) |
| Рабочая температура |
от −10 до +50 º по Цельсию |
| Диапазон значений влажности (без конденсации) |
от 0 до 100% |
| Максимальное давление |
манометрическое давление 145 фунт-сила/дюйм2
|
| Чувствительность к положению при монтаже |
отсутствует |
| Степень защиты от воздействия окружающей среды |
IP40 |
| Материалы, контактирующие с измеряемой средой |
316LSS, перфтор-каучук FFKM (Kalrez) стандартно; Viton (эластомер), EPDM (этилен-пропиленовый каучук), Buna (синтетический каучук), неопрен для некоторых газов
Если в вашем приложении требуется использование других материалов, пожалуйста, свяжитесь с компанией АКТАН ВАКУУМ. |
Передача данных / Источник питания |
Расходомер потока газа MS |
| Монохромный ЖКД либо цветной ЖКД на тонкопленочных транзисторах со встроенной сенсорной панелью |
Одновременно отображает значения массового расхода, объемного расхода, давления и температуры |
| Цифровой выходной сигнал (возможные варианты)1 |
последовательный интерфейс RS-232 / последовательный интерфейс RS-485 / PROFIBUS3 |
| Аналоговый выходной сигнал (возможные варианты)2 |
0-5 В постоянного тока / 1-5 В постоянного тока / 0-10 В постоянного тока / 4-20 мА |
| Второй аналоговый выходной сигнал, поставляемый по отдельному заказу2 |
0-5 / 1-5 В постоянного тока / 0-10 В постоянного тока / 4-20 мА |
| Варианты электрического соединения |
8-контактный разъем Mini-DIN / 9-контактный разъем D-sub (DB9) / 15-контактный разъем D-sub (DB15) / 6-контактный электрический разъем |
| Напряжение источника питания |
от 7 до 30 В постоянного тока (15-30 В постоянного тока для выходов 4-20 мА) |
| Ток источника питания |
0.040 А (+ выходной ток 4-20 мА) |
|
1 Цифровой выходной сигнал передает информацию о массовом расходе, объемном расходе, давлении и температуре.
2 Аналоговый выходной сигнал и второй аналоговый выходной сигнал, поставляемый по отдельному заказу, передают информацию о Вашем выборе массового расхода, объемного расхода, давления либо температуры.
3 В системе PROFIBUS не доступен аналоговый сигнал. Устройства PROFIBUS не оборудованы дисплеем. См. технические характеристики PROFIBUS для того, чтобы получить информацию о напряжении и силе тока источника питания для PROFIBUS
|
| Все расходомеры и регуляторы расхода газов Alicat по умолчанию откалиброваны более чем на 130 газов: |
Чистые некоррозионные газы
(Pure non-corrosive gases) |
C2H2, воздух, Ar, i-C4H10, n-C4H10, CO2, CO, D2, C2H6, C2H4, He, H2, Kr, CH4, Ne, N2, N2O, O2, C3H8, SF6, Xe |
Чистые коррозионные газы
(Pure corrosives gases) |
NH3, 1Butene, cButene, iButene, tButene, COS, Cl2, CH3OCH3, H2S, NF3, NO, C3H6, SiH4, SO2 |
Охлаждающие газы
(Refrigerants) |
R-11, R-115, R-116, R-124, R-125, R-134A, R-14, R-142b, R-143a, R-152a, R-22, R-23, R-32, RC-318, R-404A, R-407C, R-410A, R-507A |
Дыхательные газы
(Breathing gases) |
EAN-32, EAN, EAN-40, HeOx-20, HeOx-21, HeOx-30, HeOx-40, HeOx-50, HeOx-60, HeOx-80, HeOx-99, EA-40, EA-60, EA-80, Metabol |
Биореактивные газы
(Bioreactor gases) |
Bio-5M, Bio-10M, Bio-15M, Bio-20M, Bio-25M, Bio-30M, Bio-35M, Bio-40M, Bio-45M, Bio-50M, Bio-55M, Bio-60M, Bio-65M, Bio-70M, Bio-75M, Bio-80M, Bio-85M, Bio-90M, Bio-95M |
Топливные газы
(Fuel gases) |
Syn Gas-1, Syn Gas-2, Syn Gas-3, Syn Gas-4, Nat Gas-1, Nat Gas-2, Nat Gas-3, Coal Gas, Endo, HHO, HD-5, HD-10 |
Хроматографические газы
(Chromatography gases) |
P-5, P-10 |
Лазерные газы
(Laser gases) |
LG-4.5, LG-6, LG-7, LG-9, HeNe-9, LG-9.4 |
Сварочные газы
(Welding gases) |
C-2, C-8, C-10, C-15, C-20, C-25, C-50, C-75, He-25, He-50, He-75, He-90, A1025, Star29 |
Газы, концентрирующие кислород
(O2 Concentrator gases) |
OCG-89, OCG-93, OCG-95 |
Топочные газы
(Stack gases) |
FG-1, FG-2, FG-3, FG-4, FG-5, FG-6 |
| Подробнее со Списком предустановленных газов вы можете ознакомиться, перейдя по ссылке |
Технические характеристики, соответствующие различным диапазонам
Предельное показание
шкалы расходомера
потока газа |
Перепад давления, соответствующий предельному показанию шкалы расходомера потока газа (фунт-сила/дюйм2;с отводом газа в атмосферу) |
Размеры прибора |
Технологические соединения2 |
| от 0.5 ст.см3/мин до 1 ст.см3/мин |
1.0 |
4.4”В x 2.4”Ш x 1.1”Г
|
внутренняя резьба M-5 (10-32)
(Поставляется с торцевым кольцевым уплотнением наружной резьбы M-5 (10-32), изготовленным из материала Buna-N, к фитингам с внутренней резьбой 1/8” NPT.)
|
| от 2 ст.см3/мин до 50 ст.см3/мин |
1.0 |
| от 100 ст.см3/мин до 20 ст.см3/мин |
1.0 |
4.6”В x 2.4”Ш x 1.1”Г |
внутренняя резьба 1/8” NPT
|
| 50 ст.л./мин |
2.0 |
5.1”В x 4.0”Ш x 1.6”Г |
внутренняя резьба 1/4” NPT |
| 100 ст.л./мин |
2.5 |
| 250 ст.л./мин |
2.1 |
5.7”В x 4.0”Ш x 1.6”Г |
внутренняя резьба 1/2” NPT |
| 500 ст.л./мин |
4.0 |
5.7”В x 4.0”Ш x 1.6”Г |
внутренняя резьба 3/4” NPT |
| 1000 ст.л./мин |
6.0 |
| 1500 ст.л./мин |
9.0 |
| 2000 ст.л./мин |
5.0 |
6.0”В x 5.2”Ш x 2.9”Г |
внутренняя резьба 3/4” NPT
(для расходомеров с верхней границей измерения 2000 ст.л./мин доступно соединение с внутренней резьбой 1-1/4” NPT) |
| 3000 ст.л./мин |
7.1 |
6.0”В x 5.2”Ш x 2.9”Г |
внутренняя резьба 3/4” NPT |
| 1. Доступны версии для приложений с низким перепадом давления: пожалуйста, ознакомьтесь с информацией о контроллерах потока газа серии WHISPER, представленных вашему вниманию на нашем сайте
2. Совместимы с фитингами с торцевым уплотнением, вставляемыми нажатием соединениями, а также обжимными фитингами и трубными переходниками производства компаний Beswick®, Swagelok® , Parker®. По запросу поставляются соединения VCR и SAE.
|
|
Модель |
Диапазон работы |
Ед. измерения |
Технологические соединения |
MS-0.5SCCM-D |
0,005 - 0,5 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MS-1SCCM-D |
0,01 - 1 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MS-2SCCM-D |
0,02 - 2 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MS-5SCCM-D |
0,05 - 5 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MS-10SCCM-D |
0,1 - 10 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MS-20SCCM-D |
0,2 - 20 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MS-50SCCM-D |
0,5 - 50 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба M-5 (10-32) |
MS-100SCCM-D |
1 - 100 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MS-200SCCM-D |
2 - 200 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MS-500SCCM-D |
5 - 500 |
ст.см3/мин (мл/мин) |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MS-1SLPM-D |
0,01 - 1 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MS-2SLPM-D |
0,02 - 2 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MS-2SLPM-D |
0,02 - 2 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MS-5SLPM-D |
0,05 - 5 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MS-10SLPM-D |
0,1 - 10 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MS-20SLPM-D |
0,2 - 20 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/8" NPT |
MS-50SLPM-D |
0,5 - 50 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/4" NPT |
MS-100SLPM-D |
1 - 100 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/4" NPT |
MS-250SLPM-D |
2,5 - 250 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1/2" NPT |
MS-500SLPM-D |
5 - 500 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 3/4" NPT |
MS-1000SLPM-D |
10 - 1000 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 3/4" NPT |
MS-1500SLPM-D |
15 - 1500 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 3/4" NPT |
MS-2000SLPM-D |
20 - 2000 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 3/4" NPT |
MS-3000SLPM-D |
30 - 3000 |
ст.л./мин |
внутренняя резьба 1 1/4" NPT |
MS-5000SLPM-D |
50 - 5000 |
ст.л./мин |
|
Применение расходомеров и контроллеров потока газа, жидкости компании ALICAT SCIENTIFIC:
1. Надёжная поставка воздуха для автоматических систем покраски.
2. Контроль расхода газа для напыляющей плазменной установки.
3. TIG (сварка вольфрамовым электродом в инертном газе).
4. Быстрая проверка оборудования на наличие течи.
|
|
2015-2020 
