|
Компания АКТАН ВАКУУМ поставляет
расходомеры и контроллеры потока газа,
жидкости компании ALICAT SCIENTIFIC
РАСХОДОМЕРЫ
ПОТОКА ГАЗА.
Контроль расхода газа для вакуумной напылительной плазменной установки.
В процессе плазменного напыления в объёме, содержащем напыляемые поверхности и мишень, создаётся плазменный тлеющий
или ВЧ разряд из инертного газа (обычно аргон).
Давление газа в камере критично для контроля числа атомов, выбиваемых с поверхности мишени.
В процессе реактивного напыления небольшое количество реактивных газов, такие как кислород и азот, добавляется в камеру (например, для напыления оксида
или нитрида титана).
Правильные парциальные давления реактивных газов критичны для успешного хода процесса.
Быстрое время отклика и высокая разрешающая способность измерения потоков очень важны для таких применений.
При использовании нескольких газов в производственном процессе все регуляторы расхода газа (РРГ) контролируются из одного серийного порта или через аналоговые входы/выходы.
Преимущества регуляторов расхода газа (РРГ) компании Alicat Scientific:
1. стандартная высокая точность 0.8% от измерения + 0.2% от всей шкалы ( у "тепловых" конкурентов как правило 1% от всей шкалы). Возможна (опционно) более высокая точность измерения расхода газа.
2. нет времени подготовки к измерениям (у "тепловых" конкурентов - это минуты )
3. быстрое время отклика - 10 мс для расходомеров и 50 мс для контроллеров (к примеру, у МКС <1 с, т.е. в 20 раз медленнее для регуляторов расхода газа и в 100 раз медленнее для измерителей расхода газа)
4. для расходомеров с теплопроводностью очень трудно мерить малые потоки. Расходомеры компании Alicat Scientific могут измерять потоки с верхней границей от 0.5 ст.куб.см/мин (минимальное значение у тепловых, обычно, не меньше 5sссм)
5. т.к. не нужно ничего нагревать, регулятор расхода газа Alicat Scientific тратит очень мало мощности
6. регулятор расхода газа Alicat Scientific может мерить от 1% до 100% от шкалы (у "тепловых" РРГ 2%-100%)
7. расходомеры компании Alicat Scientific имеют два аналоговых выхода, т.е. можно передавать две разные величины: массовый расход и температуру, массовый и объёмный расходы, расхода и давление, и т.д. Расходомеры конкурентов не предоставляют такой возможности.
8. большинство расходомеров и регуляторов расхода газа конкурентов не имеют дисплея. РРГ Alicat Scientific может поставляться со встроенным дисплеем, с выносным дисплеем, без дисплея, соответственно есть возможность устанавливать контрольное значение тремя способами: локальным (с дисплея), аналоговым, и цифровым.
9. РРГ Alicat Scientific могут использоваться в больших температурных диапазонах, чем большинство РРГ конкурентов (есть опция дистанционной электроники - до 85 градусов Цельсия, но может работать и при 102 градусах).
|
|
2015-2020 
