Контроллер давления Alicat со входом внешнего давления (PC-EXTSEN-D) используется для управления давлением в камере вакуумного напыления при введении в нее аргона.
Рабочее давление измеряется датчиком давления, расположенным непосредственно в рабочей камере. Замеры давления через аналоговый выход передаются на контроллер давления. Вспомогательные химически-активные газы поступают в рабочую камеру через контроллеры массового расхода Alicat с клапанами на выходе.
Общее давление в процессе задается контроллером давления. Оно определяет среднюю длину свободного пробега молекул в камере. Преимущества: Обычно, изменение расхода активных газов изменяет давление в системе и, следовательно, среднюю длину свободного пробега. Контроллер давления Alicat быстро восстановит заданное давление, поэтому расходами активных газов можно управлять независимо.
Для управления и давлением, и расходом используется одно управляющее устройство.
2015-2020 
