В процессе напыления плазмообразующий газ (как правило, аргон) используется для заполнения вакуумной камеры, в которой размещены решетка-мишень и подложка. Измерение количества плазмообразующего газа в камере важно для контроля количества атомов, выпущенных решеткой-мишенью.
При реактивном напылении в камеру также вводятся химически-активные газы, такие как кислород и азот (обычно для напыления подложек составными веществами, такими как окись титана). Для предотвращения отравления мишени в камере должны поддерживаться необходимые парциальные давления этих газов.
В этом случае критически важны малое время отклика и высокая точность измерений.
При больших катодах и больших камерах напыления, в которые газ поступает из нескольких источников, множеством контроллеров массового расхода можно управлять с одного последовательного порта или через аналоговый вход/выход.
Преимущества Alicat:
> Относительная нечувствительность к изменению рабочих и окружающих температур и давлений.
> Выходные клапаны обеспечивают полную совместимость с рабочими камерами глубокого вакуума.
> Время регулирования – 25-100 мс. > Настройка PID-контроллера в полевых условиях под специфические требования заказчика.
> Выбор параметра регулирования позволяет поддерживать одним прибором массовый расход, объемный расход или абсолютное давление, одновременно измеряя массовый расход, температуру, объемный расход и абсолютное давление.
> Многоточечный интерфейс RS-232 позволяет подключать у одному последовательному порту компьютера до 26-ти приборов Alicat и задавать им точки регулирования.
> Возможность выбора через меню Gas Select™ одного из 30-ти наиболее часто используемых газов и смесей.
2015-2020 
