В таком применении точное управление раздачей жидкости производиться путем регулировки давления надува в емкости с ней с помощью двухклапанного контроллера давления Alicat.
Обычно, в качестве рабочего газа используется азот, который стравливается в атмосферу через второй, нижний клапан контроллера серии PCD. Давление наддува жидкости обеспечивает точную раздачу через активацию соленоида или игольчатого клапана. Может быть достигнута очень высокая стабильность – 1 к 5000 (0.02% полной шкалы).
С опцией от Alicat «RAM only», пользователи могут постоянно увеличивать давление наддува в камере, поскольку уровень жидкости понижается. Благодаря времени обработки всего в 400 мс, достигается очень высокая точность установки давления.
Такой процесс часто используется в полупроводниковой промышленности при полировке кремниевых пластин, а также в некоторых биотехнологических приложениях.