Регулятор (контроллер) дифференциального давления производства компании Alicat используется для определения характеристик потока, проходящего через фильтр, в зависимости от кривой падения давления. Регулятор (контроллер) давления PC-15PSID-D применяется для регулирования падения давления в фильтре. Расходомер потока газа M-10SLPM-D измеряет расход, требуемый для создания этого падения давления.
Возможна альтернативная конфигурация, при которой расходомер устанавливается перед регулятором давления.
Значение массового расхода на входе равняется величине массового расхода на выходе.
Преимущества: Для определения требуемой величины падения давления используется последовательный ввод, что предоставляет пользователю возможность запускать записанные заранее сценарии с известной периодичностью, в то время как в отношении давления и расхода используется общий интерфейс управления.