Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе — это насосы, вал которых поддерживается за счет силы магнитного поля, отвечают прикладным требованиям в области современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного нанесения покрытий и научных приборов. Скорость откачки данных насосов составляет 1400–3000 л/с, рабочее давление от 20 Па до 10^-7 Па.

5-осевой магнитно-левитирующий подшипник, основан на передовой международной теории управления. Такая конструкция имеет динамический отклик и своевременную регулировку с помощью динамического активного магнитного поля замкнутой цепи. Технология управления подвеской гарантирует существенные преимущества высокоскоростного вращения вала.

Насос на магнитном подвесе изготовлен из сплава высокопрочного алюминия и легкого углеродного волокна. Алюминиевый сплав характеризуются значительным снижением веса насоса и улучшением прочности. Благодаря чему достигаются цели по высокой скорости вращения, высокой производительности и высокой надежности.

Поверхности деталей в камерах насоса обрабатываются специальным способом, тем самым поверхность противостоит коррозии, вызванной агрессивными газами в полупроводниках. Кроме того, валы насосов полностью заполнены такими инертными газами, как N2 для защиты деталей с низким вакуумом и обеспечивают стабильную откачку агрессивных газов в течении длительного времени.

ТМН на магнитном подвесе оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры. Во время работы можно контролировать охлаждение воды, электронагрев и тепло переносимое защитными газами, так же можно контролировать защитные газы во время работы и поддерживать температуру в насосах при определенном значении в течение длительного времени.

Преимущества:

1. Отсутствие трения во время работы и низкое энергопотребление
2. Легко добиться чистого высокого и сверхвысокого вакуума без смазки для насосов
3. Способен извлекать агрессивные газы в течение длительного времени
4. Высокая безопасность и долгий срок службы за счет защиты подшипников прецизионными керамическими шариками
5. Функция выработки электроэнергии в случае внезапного отключения питания

Примечание:

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе применяются в областях производства полупроводников, промышленных гальванопокрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, а также газов, которые легко коагулируются при нормальной температуре.

Серия CV - для самостоятельной настройки температуры необходимо дополнительно приобрести панель дисплея.

Таблица для заказа

Артикул	Наименование	Купить в интернет-магазине eVacuum.ru
CXF-200/1401CE (CF200)	CXF-200/1401CE (CF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий
CXF-200/1401CE (ISOF200)	CXF-200/1401CE (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий
CXF-200/1401CSE (CF200)	CXF-200/1401CSE (CF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкие, (сплит-система)
CXF-200/1401CSE (ISOF200)	CXF-200/1401CSE (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкие, (сплит-система)
CXF-200/1401CV (CF200)	CXF-200/1401CV (CF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий, термостойкий
CXF-200/1401CV (ISOF200)	CXF-200/1401CV (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий, термостойкий
CXF-200/1401CVSE (ISOF200)	CXF-200/1401CVSE (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкие, термостойкие, (сплит-система)
CXF-200/1401E (CF200)	CXF-200/1401E (CF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м
CXF-200/1401E (ISOF200)	CXF-200/1401E (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м
CXF-200/1401SE (CF200)	CXF-200/1401SE (CF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, (сплит-система)
CXF-200/1401SE (ISOF200)	CXF-200/1401SE (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, (сплит-система)
CXF-200/1402E (CF200)	CXF-200/1402E (CF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м
CXF-200/1402E (ISOF200)	CXF-200/1402E (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м
CXF-250/2301CE (CF250)	CXF-250/2301CE (CF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий
CXF-250/2301CSE (CF250)	CXF-250/2301CSE (CF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкие, (сплит-система)
CXF-250/2301CSE (ISOF250)	CXF-250/2301CSE (ISOF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкие, (сплит-система)
CXF-250/2301CV (CF250)	CXF-250/2301CV (CF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий, термостойкий
CXF-250/2301CV (ISOF250)	CXF-250/2301CV (ISOF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий, термостойкий
CXF-250/2301E (CF250)	CXF-250/2301E (CF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м
CXF-250/2301E (ISOF250)	CXF-250/2301E (ISOF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м
CXF-250/2301SE (CF250)	CXF-250/2301SE (CF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, (сплит-система)
CXF-250/2301SE (ISOF250)	CXF-250/2301SE (ISOF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, (сплит-система)
CXF-250/2301CE (ISOF250)	CXF-250/2301СE (ISOF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий
CXF-250/2302E (CF250)	CXF-250/2302E (CF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м
CXF-250/2302E (ISOF250)	CXF-250/2302E (ISOF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м
CXF-320/3001CV (ISOF320)	CXF-320/3001CV (ISOF320) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 320, скорость откачки 3000 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий, термостойкий
CXF-320/3001E (ISOF320)	CXF-320/3001E (ISOF320) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 320, скорость откачки 3000 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м
CXF-320/3001SE (ISOF320)	CXF-320/3001SE (ISOF320) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 320, скорость откачки 3000 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, (сплит-система)
CXF-320/3001CE (ISOF320)	CXF-320/3001СE (ISOF320) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 320, скорость откачки 3000 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий
CXF-320/3002E (ISOF320)	CXF-320/3002E (ISOF320) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 320, скорость откачки 3000 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м
Panel CV	Панель дисплея для насосов серии CV